概述 

       離子束用于各種應用場合，諸如，質(zhì)譜儀和離子注入機等。離子束電流通常非常?。╩A）, 所以需要使用靜電計或皮安表來進行測量。本節(jié)介紹如何使用6485型皮安表和6487型皮安表/電壓源來進行這種測量工作。在電流靈敏度更高時，可以改用靜電計來進行測量。 

測量方法 

       如果離子源偏離地電位，那么離子收集電極多半處在地電位。在這種情況下，可以使用簡單的真空同軸接頭來進行從收集電極到皮安計的連接。圖 1示出 6485 型皮安計從離子收集電極測量電流的情況 , 這時儀器工作在地電位。

       然而，如果離子源處在地電位，那么離子收集電極必須偏離地電位。6485 型皮安計只能偏離地電位大約 42V, 所以必須使用能夠浮地電位達500V 的6487 型皮安計。圖 2 是 6487 型皮安計浮地測量離子束的 一個例子。皮安計的高端通過三同軸的真空接頭連到離子收集電極。皮安計的低端由電壓源偏離地電位。出于安全的考慮，當偏置電 壓大于42V 時，應當使用三同軸的真空接頭。6487 型皮安計能夠浮 地高達500V。

如果無法找到三同軸的真空接頭，那么可以在絕緣的 BNC 連接處構建金屬安全屏蔽（圖 3）。將該金屬安全屏蔽接地。浮地信號的問題在第 2.6.8 節(jié)（詳見吉時利低電平測量手冊）詳細討論。 如果對地的浮地電壓小于 42V, 那么絕緣的 BNC 接頭就不需要安 全屏蔽。

完成電路連接之后，接通偏置電壓，在沒有離子束電流的情況下 進行電流測量，以驗證系統(tǒng)能夠正常工作。如果這時的電流比要測量 的電流大得多，那么系統(tǒng)中一定存在著寄生泄漏通路，必須將其糾正。 我們常常需要把離子束電流與時間的函數(shù)關系畫成曲線。此項工 作可以使用皮安計的模擬輸出功能來完成或者使用 IEEE-488 總線或 RS-232 接口來采集讀數(shù)，再用繪圖編程軟件包（例如 ExceLINX）或 圖表軟件將其畫成曲線。