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吉時利4200A-SCS半導體參數(shù)分析儀
  • 吉時利4200A-SCS半導體參數(shù)分析儀
  • 型號:4200A-SCS
  • 品牌:
服務熱線:18191064665
使用吉時利4200A-SCS參數(shù)分析儀(參數(shù)測試儀) 加快各類材料、半導體器件和先進工藝的開發(fā),完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能領先電學特性半導體參數(shù)分析儀,提供同步電流電壓曲線測試(IV曲線測試)、電容電壓曲線測試(CV曲線測試)和超快脈沖IV曲線測量。

吉時利4200A-SCS半導體參數(shù)分析儀(圖1)

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業(yè)知識和數(shù)百項隨時可以投入使用的應用測試,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過程,快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進行靈活配 置,不管是現(xiàn)在還是未來,都可以隨時對系統(tǒng)進行升級。通過4200A-SCS 參數(shù)分析儀,通往發(fā)現(xiàn)之路現(xiàn)在變得異常簡便。

主要性能指標


I-V 源測量單元(SMU)
    ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊

    100 fA測量分辨率

    選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率

    10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量

    100 μF負載電容

    四象限操作

    2 線或 4 線連接


C-V 多頻率電容單元(CVU)
    AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)

    1 kHz - 10 MHz 頻率范圍

    ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源,可以擴展到± 210 V(420 V 差分)

    選配 CVIV 多通道開關,在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)

    兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道

    200 MSa/s,5 ns 采樣率

    ±40 V (80 V p-p),±800 mA

    瞬態(tài)波形捕獲模式

    任意波形發(fā)生器 Segment ARB? 模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率


高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)
    
兩個高速脈沖電壓源通道

    ±40 V (80 V p-p),± 800 mA

    任意波形發(fā)生器 Segment ARB?模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)

    在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換,無需重新布線或抬起探針

    把 C-V測量移動到任意端子,無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)

    在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換

    把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數(shù)十皮安

    降低電纜電容效應

典型應用

MOSFET, BJT 晶體管
材料特性分析
非易失性存儲設備
電阻率系數(shù)和霍爾效應測量
NBTI/PBTI
III-V 族器件
失效分析
納米器件
二極管和pn 聯(lián)結
太陽能電池
傳感器
MEMS 器件
電化學
LED 和OLED


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