Keithley 6517B 靜電計 / 高阻表是科研實(shí)驗(yàn)室靈敏測量的標(biāo)準(zhǔn)。吉時利在弱電測量方面擁有 60 多年的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，吉時利靜電計能夠可靠地測量最低 10 aA (10×10-18A) 電流、最低 1 fC 電荷，并支持最高 1018Ω 的電阻測量。6517B 還能夠測量高達(dá) 200 V 的最大電壓范圍，輸入阻抗超過 200 TΩ。所有這些性能都融合在一臺儀器中，操作起來像數(shù)字萬用表一樣簡便。

出眾的性能指標(biāo)

半機(jī)架型6517B靜電計/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對于 接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量所需的準(zhǔn)確 度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡化漏流測試、擊穿電壓測試 和電阻測試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測量。

測量范圍寬

6517B型靜電計/高阻表具有全自動量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿量程：

? 電流測量范圍：10aA - 20mA

? 電壓測量范圍：1μV - 200V

? 電阻測量范圍：1Ω - 1018Ω

? 電荷測量范圍：1fC - 2μC

主要性能指標(biāo)：

• 測量高達(dá) 10¹⁸ Ω的電阻

• 10 aA (10×10^-18 A) 電流測量分辨率

• 6517B、8009 電阻率測試夾具和 KickStart 高電阻率應(yīng)用相結(jié)合，為 ASTM D257 高電阻率測量提供完整的硬件和軟件解決方案

• <3 fA 輸入偏置電流

• 6 位半高準(zhǔn)確度測量模式

• 最低電流范圍上 <20μV 壓降

• 高達(dá) 200 V 電壓測量，>200Ω 輸入阻抗

• 內(nèi)置 ±1000 V 電壓源

• 獨(dú)有高阻測量交換電極電壓源和測量方法

• 內(nèi)置測試序列，支持四種不同器件表征測試、表面和體電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描

• 選配插入式掃描卡，可使用一個測試設(shè)置測試最多 10個器件或材料樣本

• GPIB 和 RS-232 接口

改進(jìn)高電阻率測量

許多測試應(yīng)用要求材料有高電阻率 ( 表面或體積 )。傳統(tǒng)測量方法對樣本應(yīng)用足夠大的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流，然后使用歐姆定律 (R=V/I) 算出電阻。盡管高阻材料和器件產(chǎn) 生的電流很小，很難準(zhǔn)確測量，但吉時利靜電計和皮安計可以成功地完成這些測量。

即使使用的是優(yōu)質(zhì)儀器，材料中固有的背景電流仍可能使其 很難準(zhǔn)確地執(zhí)行測量。由于壓電效應(yīng)、靜電對電容元件充電 及偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料一般都有背景電流。 背景電流通常大于等于應(yīng)用的電壓產(chǎn)生的電流。在這些情況 下，結(jié)果通常會不穩(wěn)定，提供的電阻讀數(shù)或電阻率讀數(shù)不準(zhǔn)， 甚至?xí)a(chǎn)生錯誤的負(fù)值。吉時利 6517B 就是為解決這些問 題而設(shè)計的，可以一致地、可重復(fù)地、準(zhǔn)確地測量各種材料 和元件，特別是在與 8009 電阻率測試夾具結(jié)合使用時。

交換電極高電阻率測量方法

6517B 采用交換電極方法，幾乎消除了樣本中任何背景電 流的影響，另外也抵消了背景電流的一級和二級漂移。交換 電極方法應(yīng)用正極性電壓，然后在指定延遲 ( 測量時間 ) 后 測量電流。然后顛倒極性，使用相同的延遲再次測量電流。 這一過程一直重復(fù)，最后根據(jù)四個最新電流測量的加權(quán)平均 值計算出電阻。 在大多數(shù)材料上，通過 7 次反轉(zhuǎn) ( 即舍棄 前三個讀數(shù) )，這種方法一般可以得出高度可重復(fù)的、準(zhǔn)確 的電阻 ( 或電阻率 ) 測量數(shù)據(jù)。例如，在 8009 電阻率測試 夾具中，可以以 0.3% 的可重復(fù)率測量 1mm 厚的 1014 Ω-cm 材料樣本，在 15 秒周期內(nèi)得到 <200 fA 的背景電流變化。

與內(nèi)置源增強(qiáng)高阻測量準(zhǔn)確度

濕度和溫度會明顯影響材料的電阻率值。為幫助您準(zhǔn)確比較 在變化條件下采集的讀數(shù)，6517B 提供了一個內(nèi)置 K 型熱 電耦，并可以選配 6517-RH 相對濕度探頭。內(nèi)置 50,000 個讀數(shù)的數(shù)據(jù)存儲緩沖器可以記錄和調(diào)用測量數(shù)據(jù)，包括測 量時間、溫度和相對濕度戳記。

完整的高電阻率測量解決方案

可以使用以下套件，采用標(biāo)準(zhǔn) ASTM D-257 “絕緣材料的DC 電阻或電導(dǎo)”規(guī)定的方法執(zhí)行高電阻率測量：

KICKSTARTFL-HRMA2 高電阻率應(yīng)用，適用 KickStart儀器軟件控制環(huán)境

6517B 靜電計

8009 電阻率測試夾具

KickStart 高電阻率應(yīng)用控制著執(zhí)行所需測量的靜電計和測試夾具，進(jìn)行 ASTM- D-257 標(biāo)準(zhǔn)電阻率測量。它可以以高達(dá)1000V 電壓測試材料，確定高達(dá) 1018 Ω-cm 的電阻率，分析電流隨時間變化的階躍響應(yīng)圖，確定測量要等多長時間被測材料才會穩(wěn)定，分析多個讀數(shù)圖，確保獲得穩(wěn)定一致的測量。KickStart 高阻應(yīng)用采用交換電極技術(shù)，消除固有的背景電流，實(shí)現(xiàn)最準(zhǔn)確的電阻率測量。還可以使用這個應(yīng)用，使用選配的熱電偶和相對濕度探頭，觀測電阻率與溫度和相對濕度的關(guān)聯(lián)度。

相關(guān)應(yīng)用:

• 6517B型靜電計/高阻表非常適合物 理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究 領(lǐng)域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電 荷測量。其極低的電壓降非常適合太陽能電池測量，其內(nèi)置電壓源和低電流靈 敏度使之成為基于聚合物的納米線等高 阻測量的出眾解決方案。其高速和易用 性使之成為質(zhì)量控制、產(chǎn)品工程和生產(chǎn) 測試（包括漏流、擊穿和電阻測試）應(yīng) 用的極好選擇。利用6517B型靜電計/高 阻表的電壓反轉(zhuǎn)方法，可以大幅改進(jìn)對絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測量。 6517B型靜電計/高阻表還非常適合電化 學(xué)應(yīng)用，如離子選擇性電極和pH測量、 電導(dǎo)電池和電勢測定。